欢迎光临太原市manbetx体育官网医疗万博体育官网有限公司

设为首页| 返回首页
联系我们
太原manbetx体育官网医疗万博体育官网有限公司

办公地址:太原市杏花岭区马道坡街65号

邮编:030013

网址:www.xydyl.cn
联系电话:15234003111   13099055551
售后服务:0351-4670433
邮箱:tyxyd@126.com
您当前的位置:首页 > 新闻中心 > 新闻中心
新闻中心
混合气体和标准气体的不同
时间 : 2018-06-05    管理员 : admin

电子混合气体和计量学上的标准气体有许多相似的特点,但又有许多不同,电子混合气体除了要保证其配制浓度的高精度外,更需要气体具有优良的品质,换言之,电子混合气体要确保混合好的气体中含有的有害杂质不能高于某值。在8in以上的IC生产线,也应对混合气体中含有的颗粒物进行控制和定值。

1、电子混合气体的气瓶处理
同其他气体不同,对盛装电子混合气体的气瓶的要求十分严格,否则,即便是混合气体配制的准确度再高,稳定性再好也无法使用。
首先混合气体的气瓶几何尺雨如体积、直径、瓶高度要满足用户要求。在半导体等领域,气瓶通常安放在气瓶柜内使用,气瓶柜的尺寸及连接的管阀件确定后,气瓶的高矮胖瘦就不能随心所欲了。对于不同种类的混合气在气瓶色标、警示标志等方面国外已有极其详细的标准,如CGA、ISO等,我们在此方面仍在认识和完善中。

2、电子混合气体配制装置技术要求
同其他标准气体制备不同的是,配制电子混合气体的装置似乎更为复杂,电子混合气体配气装置所用的管路是EP级别,材质为316L,精密压力表或压力传感器精度优于0.25级,材质316L。为确保配制装置不产生污染使用前要求系统。

电子混合气常用的平衡气或称底气:N2,H2,He,Ar,O2;组分气:PH3,SiH4,B2h6,Sih6,GeH4,AsH3,TMB,BF3等,为了减少平衡气体中有害杂质的含量,设有平衡气体高压净化器,通过净化平衡气的纯度大于99.9999%,在净化器的出口设有在线H2O,O2检测仪表,随时反映净化器出口气体关键杂质的含量,这此净化器内置气体过滤器。


上一条: 暂无
下一条: 标准气体在配制过程中的安全生产和管理
版权所有:太原市manbetx体育官网医疗万博体育官网有限公司 咨询热线15234003111 售前咨询0351-4670433 售后服务0351-4670433
技术支持:龙采科技(山西)有限公司---百度山西地区营销服务中心山西百度推广山西网站建设备案号:晋ICP备18005844号
<友情连结> emcbet官网/ 贝博手机app/ f1娱乐城/